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光力科技(300480.SZ):公司激光开槽机、研磨机已在客户端验证

(原标题:光力科技(300480.SZ):公司激光开槽机、研磨机已在客户端验证)

格隆汇5月8日丨光力科技(300480.SZ)近日接受特定对象调研时表示,公司激光开槽机、研磨机已在客户端验证,激光隐切机已试切多批客户样片,研磨抛光一体机正在进行研发样机的功能性测试。公司将全力加快推进产品验证尽快形成销售订单。

其进一步表示,公司研发生产的全自动晶圆研磨机设备 3230 适用晶圆等产品研磨(减薄),可用于 6/8/12 英寸硅、碳化硅等晶圆的减薄工艺,晶圆级Fan-out 研磨工艺等;全自动研磨抛光一体机 3330 可以实现晶圆的背面研磨和抛光加工,具有高稳定性超薄化加工的能力,可用于12 寸先进封装超薄晶圆减薄、抛光加工,适配 SDBG、DBG 等工艺;可满足2.5D/3DIC、Chiplet 等先进封装工艺的晶圆背面研磨、应力消除等。

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