恒运昌(688785.SH)：公司第四代等离子体射频电源系统Cedar系列的部分机型已小批量试产

（原标题：恒运昌(688785.SH)：公司第四代等离子体射频电源系统Cedar系列的部分机型已小批量试产）

格隆汇9月16日丨恒运昌(688785.SH)接受特定对象调研时表示，Cedar系列将射频电源和匹配器整合为一体化平台，配备多个中心阻抗应用、可实现快速数据及大数据采集等功能，可支撑更先进制程。截至2026上半年，公司第四代等离子体射频电源系统Cedar系列的部分机型已小批量试产；公司在研项目"MFC MEMS 传感器项目"已达到样品升级改造阶段；公司于报告期内新增一在研项目"AI Model-BasedRF Impedance Matching System"，截至报告期末处于完成模型开发并持续完善中的阶段。

报告期内，公司持续推进自研产品矩阵中等离子体射频电源系统(等离子体射频电源及匹配器)、远程等离子体源(其在自有的独立腔室中通过等离子体射频电源系统将气体电离形成等离子体，再将产生的等离子体传输到晶圆所在的反应腔)、射频离子源(一种由一个或多个等离子体射频电源、匹配器及感应线圈等组成的用于激发等离子体的模块化装置)、等离子体直流电源(通过产生直流电场以激发和维持等离子体的电源)、滤波器(应用在诸如加热盘、静电卡盘、热偶的供电线路中，用于射频隔离、稳定射频等离子体的阻抗)、阻抗调整器(大多应用在等离子体腔体内硅片托盘的阻抗调整，控制等离子体托盘的接地阻抗)等产品项目的进度。

公司将持续加大技术研发投入、积极拓展技术应用领域，探索更多行业场景，形成多元化产品矩阵，并致力于成为围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案的平台型公司。