鑫宇科技公布“一种ZnO/ZnO:Ru/Ru复合气敏薄膜及其制备与传感器应用”专利_财经频道

（原标题：鑫宇科技公布“一种ZnO/ZnO:Ru/Ru复合气敏薄膜及其制备与传感器应用”专利）

天眼查APP显示，近日，河南鑫宇光科技股份有限公司申请的“一种ZnO/ZnO:Ru/Ru复合气敏薄膜及其制备与传感器应用”专利公布。摘要显示，本发明公开了一种ZnO/ZnO:Ru/Ru复合气敏薄膜的制备方法，以及其在NH3气体传感器的应用，属于气体传感器技术领域。该方法采用磁控溅射技术在表面带有叉指电极的Al2O3陶瓷衬底上依次沉积ZnO薄膜、ZnO:Ru掺杂层和Ru负载层，获得Ru掺杂/负载协同改性的ZnO基气敏薄膜。应用所述气敏薄膜的NH3传感器的具有较高的气敏响应和较快的响应/恢复速率。本发明通过Ru掺杂调控ZnO薄膜的电子结构和缺陷状态，同时利用Ru表面负载增强催化活性和界面电子转移能力，实现了对NH3分子的高灵敏检测，为高性能MOS型NH3传感器的可控制备提供了一种可靠技术方案。

精彩推荐

内容精选