敏芯股份取得压力传感器及其制备方法专利，提高压力传感器的灵敏度一致性和线性度_财经频道

（原标题：敏芯股份取得压力传感器及其制备方法专利，提高压力传感器的灵敏度一致性和线性度）

金融界2023年11月17日消息，据国家知识产权局公告，苏州敏芯微电子技术股份有限公司取得一项名为“压力传感器及其制备方法”，公开号CN114427930B，专利申请日期为2022年10月。

专利摘要显示，本发明提供了一种压力传感器及其制备方法，所述压力传感器包括衬底层；第一外延层，设置在所述衬底层的上方；内部腔室，设置在所述衬底层上方，且其顶端所在高度不高于所述第一外延层顶端所在高度；第二外延层，设置在所述内部腔室上方；岛状结构，设置在所述衬底层内部中心区域且独立于所述衬底层；连通深槽，设置在所述岛状结构与所述衬底层之间，用于将所述内部腔室与外部气体连接。本发明的压力传感器能够有效提高压力传感器的灵敏度一致性和线性度，提高了压力传感器的性能。