敏芯股份取得惯性传感器专利，实现顶盖体面向器件结构一侧制作第一止挡结构_财经频道

（原标题：敏芯股份取得惯性传感器专利，实现顶盖体面向器件结构一侧制作第一止挡结构）

金融界2023年11月17日消息，据国家知识产权局公告，苏州敏芯微电子技术股份有限公司取得一项名为“惯性传感器及其制作方法“，公开号为CN116909092B，专利申请日期为2023年11月。

专利摘要显示，本发明提供了一种惯性传感器及其制作方法，包括：形成具有环形开口部、固定部和第一止挡结构的顶盖体，形成覆盖环形开口部、固定部和第一止挡结构的氧化层，提供器件结构层，将器件结构层与顶盖体之间通过氧化层键合，刻蚀器件结构层以形成器件结构，器件结构上形成有第一镂空结构，顶盖体的第一止挡结构与器件结构的第一镂空结构通过所述氧化层连接固定，通过第一镂空结构处对覆盖于第一止挡结构的端面的氧化层进行刻蚀，以在第一止挡结构与可动质量块之间形成间隙，从而完美的实现了通过硅氧键合也能够在顶盖体面向器件结构的一侧制作第一止挡结构，并且该第一止挡结构的存在不会影响到可动质量块的正常活动。