(原标题:敏芯股份取得MEMS芯片封装技术专利,实现了活动结构的有效保护)
金融界11月17日消息,据国家知识产权局公告,苏州敏芯微电子技术股份有限公司取得一项名为“MEMS芯片封装结构及其制作方法“,公开号CN117069054A,专利申请日期为2023年11月。
专利摘要显示,本发明提供了一种MEMS芯片封装结构及其制作方法,简化了工艺难度,实现了活动结构的有效保护。从而完美的解决了传统密封封装工艺导致的连接紧密度不佳,以及由此所导致的崩边、裂片等问题。
采集日期:2023年11月20日
本文源自:金融界
作者:情报员