敏芯股份申请声电转换结构及其制作方法、以及麦克风、电子设备专利，实现声电转换结构的单指向性能，同时保障了声电转换结构对声音拾取的一致性_财经频道

（原标题：敏芯股份申请声电转换结构及其制作方法、以及麦克风、电子设备专利，实现声电转换结构的单指向性能，同时保障了声电转换结构对声音拾取的一致性）

金融界2024年1月6日消息，据国家知识产权局公告，苏州敏芯微电子技术股份有限公司申请一项名为“声电转换结构及其制作方法、以及麦克风、电子设备“，公开号CN117354705A，申请日期为2023年12月。

专利摘要显示，本发明公开了一种声电转换结构及其制作方法、以及麦克风、电子设备，其中，声电转换结构的制作方法包括：提供衬底，并在衬底的一侧制作第一绝缘层；在第一绝缘层上方制作阻尼结构层；在阻尼结构层背离衬底的一侧制作第二绝缘层；在第二绝缘层上方制作背极板层，并在背极板层刻蚀出在厚度方向上贯穿背极板层的声孔；在背极板层背离阻尼结构层的一侧制作第三绝缘层；在第三绝缘层上制作振膜层；对衬底进行刻蚀，以刻蚀出贯穿衬底的背腔；通过背腔处将部分第一绝缘层、部分第二绝缘层、部分第三绝缘层刻蚀掉，以得到声电转换结构。本发明所提供的技术方案既实现了声电转换结构的单指向性能，同时又保障了声电转换结构对声音拾取的一致性。

本文源自：金融界

作者：情报员

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