(原标题:江丰电子申请一种铝靶材的制备方法专利,得到的铝靶材内部微观组织分布均匀,晶粒大小在200μm以下,外观色泽一致,具有优良的溅射性能)
金融界2024年1月10日消息,据国家知识产权局公告,宁波江丰电子材料股份有限公司申请一项名为“一种铝靶材的制备方法“,公开号CN117364034A,申请日期为2023年10月。
专利摘要显示,本发明提供一种铝靶材的制备方法,所述制备方法包括如下步骤:(1)铝锭依次经第一预热、第一锻造和第一热处理后,得到处理后铝锭;(2)所述处理后铝锭依次经第二预热、第二锻造和第二热处理后,热轧,得到半成品铝靶坯;(3)所述半成品铝靶坯经第三热处理,得到所述铝靶材。本发明所述铝靶材的制备方法操作简单,得到的铝靶材内部微观组织分布均匀,晶粒大小在200μm以下,外观色泽一致,具有优良的溅射性能,应用前景广泛。
本文源自:金融界
作者:情报员