(原标题:清溢光电(688138.SH)目前已实现150nm工艺节点半导体芯片掩膜版的小规模量产)
格隆汇4月23日丨清溢光电(688138.SH)在互动平台表示,公司目前已实现150nm工艺节点半导体芯片掩膜版的小规模量产,正在推进130nm-65nm的PSM和OPC工艺的掩膜版开发和28nm半导体芯片所需的掩膜版工艺开发规划。