昊华科技(600378.SH)：正在研制光刻用电子混配气产品

（原标题：昊华科技(600378.SH)：正在研制光刻用电子混配气产品）

格隆汇10月21日丨昊华科技(600378.SH)在互动平台表示，公司所属昊华气体以延续50余年的技术积累和创新成果专注于配套电子信息产业，是国内特种气体行业内的技术领先企业，拥有国家重要的特种气体研究生产基地，主要产品有三氟化氮、四氟化碳、六氟化硫、六氟化钨、六氟丙烷、硒化氢、硫化氢、溴化氢等，总产能达万吨级，部分产品国内市场占有率高达60%，产品主要应用于集成电路、平板显示和太阳能光伏等制造领域。叠加中化蓝天氟化工技术转化支撑，实现部分产品的成本优化与产能提升。公司现拥有多品种系列化电子特种气体产品，应用于集成电路制造的蚀刻、清洗、离子注入、化学气象沉积等环节。目前公司正在研制光刻用电子混配气产品。公司的高纯四氟化碳，采用先进制氟技术及立式高效氟化反应器，产品指标达到国际先进水平，产品广泛出口至欧美、东南亚等国家和地区；公司的超高纯六氟化硫在原有高纯六氟化硫产品基础上进一步升级，在国内平板显示等应用领域市场占有率超过60%。公司依托氟化工产业链优势，承担并完成国家有关部门集成电路刻蚀气“一条龙”攻关项目，成功开发电子级六氟丁二烯、电子级溴化氢和氟甲烷等8类产品，并实现国产化替代，新建2套产业化装置、8套中试装置，共获授权中国发明专利14项、国际专利5项，发布国家标准4项，为集成电路先进制程发展提供支撑与保障。其中，六氟丁二烯突破氟碳合成关键技术，技术指标达国际领先水平，已获得行业头部客户批量采购并进入其供应链。随着终端应用市场复苏及AI需求增长，公司电子特气业务有望持续受益。