恒运昌科创板IPO今日上会：通过2025第二批现场检查的首家上会企业

（原标题：恒运昌科创板IPO今日上会：通过2025第二批现场检查的首家上会企业）

今日，深圳市恒运昌真空技术股份有限公司（下称“恒运昌”）正式迎来科创板上市委的IPO审议会议。凭借持续的技术积累和创新能力，恒运昌已发展成为国内半导体核心零部件的领军企业，是国内半导体领域首家出货过亿元和首家实现等离子体射频电源系统（支持半导体先进制程）量产的国产厂商。

据了解，恒运昌的产品性能领先，打破了MKS和AE等海外巨头在国内等离子体射频电源系统领域的垄断格局。其在等离子体射频电源系统领域的突破性成就，备受市场关注。

此次上会，不仅是恒运昌迈向新阶段的关键一步，更被视为国产高端半导体装备核心零部件产业化发展的重要节点。

研发与产业化并重，突破先进制程壁垒

恒运昌的核心产品“等离子体射频电源系统”，作为薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶和键合环节生产设备的核心零部件，是半导体制造中等离子体工艺控制的核心，其性能直接关系到工艺过程的精确性、稳定性和效率，技术壁垒极高。

长期以来，该领域被国外巨头垄断，成为制约中国半导体产业链自主可控的重要环节之一。恒运昌持续研发、创新，不断积累，构建了完善的技术体系，从测量、控制到架构形成了3大基石技术及8大产品化支撑技术，涵盖信号采样及处理、相位锁定、同步控制、快速调频、脉冲控制等等离子体射频电源系统运行中的关键技术，部分产品性能达到国际先进水平。

公司自主研发的第二代产品Bestda系列等离子体射频电源系统可支撑28纳米制程，第三代产品Aspen系列等离子体射频电源系统可支撑7-14纳米制程，填补国内空白。

技术突破和产品的高性能离不开持续的研发投入。数据显示，2022年至2024年，恒运昌已累计投入研发金额 1.14亿元，持续推进核心技术的自主研发。今年1-6月，公司研发投入较上年同期增加72.63%，不断突破技术壁垒，加速实现半导体设备关键零部件的国产化替代。

实现国产替代与批量供货，切入主流供应链

市场始终是检验技术价值和产品性能的试金石，恒运昌的技术优势已成功转化为市场优势，实现大规模收入。

恒运昌的产品在性能、可靠性和稳定性上能够满足半导体大生产线的严苛要求，同时公司已建立起成熟、可控的供应链体系和质量管理体系，具备了规模化交付的能力，获得市场认可。

招股书显示，公司率先实现了等离子体射频电源系统产品的国产替代和批量供货，产品已实现量产交付拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等国内头部半导体设备商，并配套中芯国际等国内晶圆厂，客户群体覆盖了国内主流的半导体设备厂商和部分知名晶圆制造厂，并在不断拓展中，实现了等离子体射频电源系统“从0到1”的国产化突破与“从1到N”的规模化渗透。

众所周知，半导体设备的验证周期长、标准严苛，一旦通过验证，客户黏性会非常强。产品认可度不仅给公司带来直接的营业收入，更关键的是，恒运昌的产品已深度嵌入国内半导体产业链，成为保障其供应链安全的重要一环。

面对市场痛点与机遇，公司凭借先发优势和技术实力，已成功卡位，建立了坚实的市场壁垒。根据弗若斯特沙利文统计，2024年在中国大陆半导体行业国产等离子体射频电源系统厂商中，恒运昌的市场份额为6.1%，位列国产厂商第一。

产能与前沿技术双驱动，业绩增长具备高确定性

为应对持续增长的市场需求，恒运昌近年来持续推进生产基地的智能化改造，并建立了柔性的生产体系，为公司承接多样化订单提供了有力保障。

数据显示，2022年至2024年，恒运昌的营业收入分别实现1.58亿元、3.25亿元和5.41亿元，复合增长率高达84.91%；归母净利润从2022年的0.26亿元增长至2024年的1.41亿元，复合增长率高达131.87%，业绩规模不断扩大。

今年上半年，公司实现收入3.04亿元，归母净利润实现0.69亿元，延续了增长态势。

截至2025年8月31日，恒运昌的在手订单规模达到1.03亿元，在手订单支撑了恒运昌业绩稳定性。同时，国产替代和AI应用的浪潮为公司提供了广阔的市场空间。

据弗若斯特沙利文数据统计，中国大陆半导体行业等离子体射频电源系统市场从2020年到2024年，市场规模由42.7亿元增长至65.6亿元，年均复合增长率达到 11.3%。未来，市场规模将继续快速增长，2025-2029年复合增长率预计为15.6%。

恒运昌本次科创板IPO募投项目重点是扩大产能和提升研发实力。募投项目的落成，将有效缓解产能瓶颈，满足客户日益增长的需求。同时，公司计划将募资用于新一代产品研发和前沿技术探索，拓展产品在光伏、显示面板、精密光学等领域的应用。

恒运昌的招股书已清晰阐述了一条以高强度研发驱动技术领先、以产业化能力实现进口替代、以产能与订单双支撑保障业绩稳健增长的发展路径，展现了硬科技企业从创新到产业化成功的典型范式。借助资本市场的力量，恒运昌有望进一步加速发展，提升国产等离子体射频电源系统在全球市场的话语权，为中国半导体产业链的完善与升级贡献更重要的力量。

本文来源：财经报道网