(原标题:瑞联新材公布“一种低介电常数光刻胶组合物及其应用”专利)
天眼查APP显示,近日,西安瑞联新材料股份有限公司申请的“一种低介电常数光刻胶组合物及其应用”专利公布。 摘要显示,本发明公开了一种低介电常数光刻胶组合物及其应用,属于光刻技术领域。本发明提供的光刻胶组合物由含有大位阻基团的低介电常数丙烯酸树脂A、含有低介电单体的低介电常数丙烯酸树脂B、光引发剂、助剂和有机溶剂复配而成。其中,低介电常数丙烯酸树脂A和低介电常数丙烯酸树脂B构成的双树脂体系,可有效降低光刻胶组合物的介电常数。固化后膜层的性能测试结果表明,该膜层具有良好的膜厚均一性与透过率,且表现出优异的耐老化性能,从而实现了低介电、高分辨率和高耐久的三元性能平衡,具有良好的综合应用前景。