芯源微：在手订单饱满 前道领域产品开始放量

（原标题：芯源微：在手订单饱满 前道领域产品开始放量）

证券时报记者 孙宪超

“公司在手订单饱满，报告期末合同负债达到6.28亿元。报告期内，公司核心产品前道涂胶显影机offline、I-line、KrF机台均实现了批量销售。同时公司在今年上半年完成了2021年A股定向增发工作，引入了易方达等多家知名投资机构，资本扩充将加速公司规模化发展。”在9月5日召开的2022年中期业绩说明会上，芯源微(688037)董事长、总裁宗润福说。

芯源微日前披露的2022年半年报显示，2022年上半年公司经营业绩继续保持高速增长，实现营业收入5.04亿元，同比增长44%；净利润6940万元，同比增长98%；扣非后净利润6578万元，同比增长122%。

芯源微主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售，拥有省级企业技术中心和省级工程实验室。公司主要产品包括光刻工序涂胶显影设备和单片式湿法设备，可用于8/12英寸单晶圆处理（如集成电路制造前道晶圆加工及后道先进封装环节）及6英寸及以下单晶圆处理（如化合物、MEMS、LED芯片制造等环节）。

据宗润福介绍，进入2022年，尽管消费电子存量市场进入去库存阶段，但高端物联网、电动车、绿色能源、工业等增量市场尚未建立足够库存，应用端硅含量的持续提升与晶圆厂有限的产能扩充矛盾，叠加产业链转移带来的本土化产能缺口，以中芯国际为代表的本土晶圆厂纷纷加速扩产并提升资本开支，为国内半导体设备行业带来了难得的发展机遇和饱满的订单需求，未来几年半导体设备行业将持续受益。

上半年受上海等地疫情影响，芯源微部分在客户端装机及验收的机台受到一定程度的影响。上海区域客户的部分机台验收进度虽略有滞后，但公司客户区域覆盖广泛，包括北京、上海、广东、江苏、浙江、陕西、山东等区域。截至目前，本轮疫情对公司总体机台验收进度的影响较小。

“下半年，公司持续加大客户现场人员配备及沟通协调力度。”宗润福说，从2022年上半年签单的情况来看，公司前道领域产品已经开始放量，今年新签订单的结构中前道产品的占比大幅提升。

宗润福表示，芯源微生产的前道涂胶显影设备在28nm及以上工艺节点的多项关键技术方面，如：光刻工艺胶膜均匀涂敷技术、内部微环境精确控制技术、光刻胶涂覆缺陷及成本控制技术、在线式工艺缺陷检测技术、高产能设备架构及机械手优化调度技术等多项技术,已达到国际先进水平。同时公司在前道涂胶显影机的高产能架构方面也取得相应进展，高产能架构平台应用完全自主知识产权的创新平台，通过工艺单元双侧对称布置及机械手双侧同时取片，满足光刻机不断提升的产能需求。

“高产能架构平台将作为公司未来前道涂胶显影设备的通用性基础平台，覆盖浸没式等前沿光刻技术并向下兼容，应用场景广泛。”宗润福说，公司生产的前道涂胶显影设备已陆续获得了中芯京城、上海华力、长江存储、合肥长鑫等多个前道大客户订单。综合来看，公司前道涂胶显影机在各项核心技术方面持续取得突破，同时在客户资源、产品性价比、服务保障等方面具有一定的竞争优势。