(原标题:晶合集成申请半导体技术专利,能够改善半导体器件的性能)
金融界2023年12月4日消息,据国家知识产权局公告,合肥晶合集成电路股份有限公司申请一项名为“一种半导体器件及其制作方法“,公开号CN117153865A,申请日期为2023年10月。
专利摘要显示,本发明公开了一种半导体器件及其制作方法,属于半导体技术领域,所述半导体器件包括:衬底;栅介质层,设置在衬底上;栅极,设置在栅介质层上,栅极包括第一栅极结构和第二栅极结构,第二栅极结构设置在栅介质层上,第一栅极结构设置在第二栅极结构上,且第二栅极结构的宽度大于第一栅极结构的宽度;第一侧墙结构,设置在第一栅极结构的两侧,且位于第二栅极结构上;第二侧墙结构,设置在第一侧墙和第二栅极结构的侧壁上;漏极,设置在侧墙结构一侧的衬底内;源极,设置在侧墙结构另一侧的衬底内;轻掺杂区,只设置在栅极靠近源极一侧的衬底内。通过本发明提供的一种半导体器件及其制作方法,能夜改善半导体器件的性能,并降低生产成本。
本文源自:金融界
作者:情报员