(原标题:晶盛机电取得线切机切割液循环系统专利,实现硅棒切割完成后硅片的分离,降低硅片的损耗)
金融界2024年1月18日消息,据国家知识产权局公告,浙江晶盛机电股份有限公司取得一项名为“线切机切割液循环系统“,授权公告号CN220348762U,申请日期为2023年8月。
专利摘要显示,本实用新型公开了一种线切机切割液循环系统,该线切机切割液循环系统包括:切割组件、储液组件、喷淋组件和管路组件;切割组件包括用于切割硅棒的线网,线网切割硅棒后形成若干硅片;储液组件用于存储切割液;喷淋组件用于喷洒切割液至硅棒和线网;管路组件的两端分别与储液组件和喷淋组件连接,管路组件用于将切割液输送至喷淋组件;喷淋组件包括第一喷淋机构和第二喷淋机构,第一喷淋机构的喷射方向基本朝向线网,第一喷淋机构用于将切割液喷射至线网上;第二喷淋机构至少部分设置于线网的上方,第二喷淋机构的喷射方向基本朝向硅片。通过上述设置,以实现硅棒切割完成后硅片的分离,避免提取所述硅棒时线网误切到硅片,从而降低硅片的损耗。
本文源自:金融界
作者:情报员