日本首台EUV光刻机，开始安装

（原标题：日本首台EUV光刻机，开始安装）

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来源：内容编译自日经，谢谢。

Rapidus 创造了历史，成为第一家接收极紫外 (EUV) 光刻设备的日本半导体公司，朝着制造日本最先进的芯片迈进了一步。

Rapidus 已开始在位于北海道北部城市千岁的在建芯片制造工厂安装 EUV 系统。

首席执行官小池敦义周三在新千岁机场举行的仪式上表示：“我们将把北海道和日本的尖端半导体推向全世界。”

荷兰供应商 ASML 生产的首批 EUV 光刻系统于周六抵达机场。工厂的安装预计将于本月底完成。

由于体积巨大，该系统将分四个阶段安装。一个完整的装置重达 71 吨，大约和鲸鱼一样大。它高 3.4 米。

EUV 机器结合了特殊光源、镜头和其他技术，可形成超精细电路图案。该系统体积小，不易受到振动和其他干扰。

ASML 是全球唯一的 EUV 系统供应商。每台系统的成本约为 1.8 亿美元，具体价格取决于型号。这些系统需要很高水平的操作技能，只有少数芯片制造商采用了它们，包括台湾半导体制造公司、三星电子和英特尔。去年全球仅交付了 42 台。

11 月，小池带领 ASML 监事会成员马丁·范登布林克 (Martin van den Brink) 参观了洁净室和工厂的其他部分。范登布林克曾担任首席技术官，在 EUV 技术开发中发挥了主导作用，他批准了这项安装。

Rapidus 正与 IBM 合作，计划于 2025 年春季采用最先进的 2 纳米工艺开发原型芯片，并于 2027 年实现量产。全球最大的代工芯片制造商台积电的目标是在 2025 年实现 2 纳米芯片的量产。

更精细的电路赋予逻辑芯片更高的能效和处理能力，逻辑芯片是电子设备的大脑。这种先进的芯片对于人工智能和其他有望在未来几十年决定经济主导地位的技术至关重要。

20 世纪 80 年代，日本半导体产业的全球市场份额超过 50%。但到了 21 世纪，日本已退出生产越来越小的逻辑芯片的竞争。

没有一家日本芯片制造商能够生产比 40 纳米更先进的芯片。

Rapidus 项目由日本政府支持，旨在恢复日本生产先进芯片的能力，并减少对出口的依赖。东京的目标是让日本芯片制造商的销售额在 2030 年超过 15 万亿日元（970 亿美元），是 2020 年的三倍。

日本承包商 Kajima 正在建造用于安置 Rapidus EUV 系统的建筑物。洁净室由 Takasago Thermal Engineering 建造。

Rapidus 的下一步是积累专业知识。该公司已派遣约 150 名工程师前往 IBM 学习如何管理生产线。

日本政府数据显示，2030年全球先进半导体市场规模预计将达到53万亿日元，比2020年增长近8倍。

https://asia.nikkei.com/Business/Tech/Semiconductors/Rapidus-becomes-1st-Japan-chipmaker-to-get-ASML-s-whale-sized-EUV-machine

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