EUV光刻机，又一重磅宣布

（原标题：EUV光刻机，又一重磅宣布）

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2025 年 3 月 20 日 -纳米电子和数字技术领域的世界领先研究和创新中心 Imec 和光学和光电行业领先技术公司、微芯片生产关键部件供应商蔡司半导体制造技术公司 (SMT) 正在加强合作，利用最先进的半导体技术和制造专业知识推进 imec 的 NanoIC 试验线，用于 2 纳米以下的研发。因此，双方签署了战略合作伙伴协议 (SPA)。

为未来半导体制造技术开展紧密合作

签署的战略合作协议将延长 imec 与蔡司自 2019 年起建立的现有战略合作伙伴关系，直至 2029 年。蔡司 SMT 首席技术官兼管理团队成员Thomas Stammler解释说：“我们非常高兴能够加强与 imec 的合作，与其强大的合作伙伴网络共同推动未来的半导体技术发展。”自 1997 年以来，imec 和蔡司半导体制造技术部门一直致力于开展各种联合项目，以进一步发展摩尔定律，该定律继续推动微芯片和内存处理器性能的持续提升。imec 总裁兼首席执行官 Luc Van den hove 表示：“对于尖端半导体技术的研发，像蔡司这样的行业合作伙伴的专业知识和技术经验至关重要。因此，我们非常高兴能够进一步加强我们的合作伙伴关系。 ”

通过签署协议，两家合作伙伴重申了共同努力推进高数值孔径 EUV 光刻等关键半导体制造技术。该技术将使生产功能更强大、更节能的微芯片成为可能，而这些微芯片是人工智能、自动驾驶、工业 4.0 等关键技术以及医疗技术和能源转型的突破性解决方案的基础。

Imec 的试验生产线作为全球半导体行业的研究中心

根据协议，蔡司不仅通过参与研究项目来支持 imec，以推进半导体制造的制造、工艺和测量技术，而且还通过提供光刻光学元件（集成到战略合作伙伴 ASML 的光刻扫描仪系统中）来支持 imec 的试验线，这是合作的重要组成部分。

Imec 的试验线目前正通过位于比利时鲁汶的 NanoIC 试验线进行扩展，涵盖了整个价值创造过程以及半导体制造的各种技术链。它旨在为终端客户、供应商和研究机构等行业代表提供开拓性和先进的半导体技术和平台，使他们能够探索、开发和测试创新。现有设备、工艺和测量方法的优化也在不断推进，以实现更小、更强大、更节能的微芯片，从而推动全球数字化。在 imec 的领导下，蔡司通过参与各种行业合作伙伴计划（例如高级图案化、3D 系统集成和光学互连）加深了双方的合作。在这些计划中，双方共同致力于最新工艺和检测方法，以优化下一代半导体的工艺。

符合欧洲芯片法的投资

IMEC 与蔡司之间的密切合作符合欧盟和《欧洲芯片法》的目标和抱负，该法旨在加强欧洲的技术主权、竞争力和韧性。“通过对 IMEC 试验线的投资，现在又扩大了 NanoIC 试验线，蔡司为保持欧洲在最新一代半导体设备领域的领先地位做出了重大贡献，并通过制定技术路线图进一步扩大了领先地位，”Stammler 说。

两家合作伙伴之间加强合作也发出了跨行业网络对全球半导体市场重要性的信号：“IMEC 与蔡司之间的这一战略伙伴关系凸显了欧洲合作伙伴之间的强大凝聚力，这对于建立 NanoIC 试验线至关重要，NanoIC 试验线是世界上最先进的 2 纳米以下研发基础设施，它加速了创新并加强了欧洲在半导体生态系统中的领导地位，”Van den hove 说。

https://www.imec-int.com/en/press/imec-and-zeiss-intensify-collaboration-signing-new-strategic-partnership-agreement

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