至纯科技——一家用20年发展践行“科技报国”的创新企业

5月12日下午，“百年荣光 再启新程”闵行区庆祝中华全国总工会、上海总工会成立100周年暨模范集体、劳动模范和先进工作者表彰大会隆重举行。在现场，全国工业和信息化系统劳动模范、上海市劳动模范代表之一，上海至纯洁净系统科技股份有限公司董事长蒋渊女士上台分享了自己的创业经历和体会。作为民营高科技上市企业带头人，蒋渊女士始终践行科技报国、产业报国的初心和使命。

回顾20年前，中国半导体产业面临多重困境，蒋渊女士创立至纯科技，从最开始的高纯工艺系统出发，逐步向核心设备、电子材料等同能力圈的不同领域拓展。2017年上市后，坚定“自主可控”路径，研发团队攻坚克难，研制出高温硫酸、单片磷酸等系列单片式机型，技术水平达国内领先、国际先进，部分工艺机台填补了国产湿法装备的空白。

作为国产高纯工艺系统领军者，至纯科技自主研发的前驱体设备、研磨液设备等核心支持性设备累计交付量达3.6万台，2024年单年出货量更是破了10,000台大关。凭借48.8%的12英寸晶圆厂特气设备市占率，至纯科技彻底改写此前美日法德及台企的垄断格局。公司的配套系统实现ppt级不纯物控制，多项技术指标超越国际竞品。

依托在气体纯化领域25年技术积累，公司已建成国内首座完全国产化的28纳米制程12英寸晶圆厂大宗气站，并实现连续36个月稳定运行。2024年，投运的第二座气站已进入运营阶段，后续预计每年贡献数亿元营收，为公司提供长期稳定的现金流。配合TGM驻厂服务、腔体部件再生等增值业务，公司正形成覆盖晶圆厂全生命周期的服务矩阵。

从起步时的7人团队，到如今累计申请专利达867项的高新技术企业集团，至纯科技用二十年时间诠释了"中国智造"的韧性与活力。在发展进程中，至纯科技还勇担产业链“链主”之责，携手四五十家上下游企业构建产业集群，全力推进国产化替代，目前已基本实现自主可控，具备持续为产业用户提供高质量服务的能力。尽管前期投入巨大，但这份未雨绸缪在去年12月以来的国际经济环境变化中彰显成效。

立足"十四五"自主可控攻坚期，至纯科技正以"关注核心工艺，服务关键制程"为使命，向着"成为国内领先的半导体工艺装备、工艺系统及材料提供商"的目标稳步迈进，将继续以技术创新为矛、以产业协同为盾，在全球半导体竞争的浪潮中，开辟出一条自主可控的发展之路。

编辑：高小波

来源：大湾区经济网品牌观察频道